Institut d'Électronique et de Télécommunications de Rennes
UMR CNRS 6164

| ENT |






Accueil du site Accueil > Plateaux techniques et plateformes > Technologies Microélectroniques et Microtechnologies (TMM) > Salle Blanche

Salle Blanche

Salle blanche

Contacts : Olivier de Sagazan, Maxime Harnois, Christophe Lebreton Salle blanche Ses missions La salle blanche est organisée en ressources technologiques : croissance de couches minces, dépôt, gravure, lithographie, métrologie. Cette plateforme vient en soutien aux équipes du Département Microélectronique et MicroCapteurs. En plus de cette fonction première, elle vient en aide, dans le cadre de partenariats de recherche, aux projets de recherche-développement des (...)

Lire la suite

Salle Blanche

Traitements thermiques Les opérations de traitements thermiques sur les substrats en silicium sont effectuées dans des fours permettant : la croissance d’oxyde de silicium le dopage du silicium la redistribution des dopants dans le silicium le recuit de matériaux Les opérations thermiques sur silicium • La croissance d’oxyde de silicium est obtenue par la réaction d’espèces oxydantes à la surface du silicium (...)

Lire la suite






Départements et équipes de recherche
>
Top