Institut d'Électronique et de Télécommunications de Rennes
UMR CNRS 6164

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Equipement de fabrication de dispositifs organiques

Contacts : Nathalie Coulon, Christophe Lebreton

Il est constitué de 3 modules sous atmosphère contrôlée avec possibilité de transfert entre module :

  • Module 1 (4 gants) dédié à la photolithographie et chimie
  • Module 2 (3 gants) pour la caractérisation électrique sous pointe
  • Module 3 (2 gants) pour les dépôts
    Dépôts par évaporation thermique double creuset avec un porte substrat chauffant
    Spin Coating

Module 1 (spin coating)

Module 2

Module 3

Applications : Réalisations de transistors organiques (OFET), d’OLED …






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