Institut d'Électronique et de Télécommunications de Rennes
UMR CNRS 6164

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Caractérisation électrique

Contacts : Olivier de Sagazan, Maxime Harnois

  • Banc C(V) :

Mesure de capacité en quasi-statique et en haute fréquence.

  • 4 pointes :

Mesure de la résistivité de couche mince

  • Effet HALL (MICROWORLD AMP55T) :

Banc de caractérisation électrique exploitant le principe de mesure par effet hall et permettant l’obtention de la densité de porteurs, la mobilité, la résistivité et le coefficient de hall.

Principales caractéristiques techniques :

Concentration de porteur mesurable 10(7)-10(21)cm(-3)
Mobilité mesurable 1-10(7)cm² .v-1.s-1
Résistivité mesurable 10(-4)-10(7)ohm.cm
Température imposable 80-350°K
Taille échantillon admise 5*5mm-20*20mm
  • Station sous pointes :

Bancs de caractérisations électriques sous pointes en salle blanche et en environnement contrôlé (en boîte à gants)
Analyseurs de caractéristiques électriques I(V, t), C(V, t), C(w), Gate Bias stress…

Principales caractéristiques techniques :

Analyseur de caractéristique HP4155 + 4150 pulse generator unit
Tension maximale 100V
Courant minimal mesurable 1pA

Analyseur de caractéristique Agilent B1500A
Tension maximale 100V
Courant minimal mesurable 10pA
Gamme de fréquences (mesure de capacités) 5Hz-100MHz
Nombre de voies 4
  • Cryostat :

Mesure électrique (énergie d’activation…) sous vide contrôlée en température (-150°C à 200°C)

  • Caractérisation électrique sous ambiance gazeuse :

Caractérisation électrique sous pointes de capteurs de gaz.

Principales caractéristiques techniques :

Gaz disponible NH3
Dilution minimale 1ppm
Courant minimal mesurable 1pA (Keithley 2636A)
  • Enceinte climatique (hygrométrie et température contrôlable) :

  • Simulateur solaire :

Sol 1A oriel






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