Équipe MM (Microélectronique & Microcapteurs)

L'équipe Microélectronique et Microcapteurs élabore en salle blanche et caractérise des dispositifs électroniques de type transistors et capteurs en utilisant des matériaux organiques et/ou du silicium micro ou polycristallin. L'intégration de ces dispositifs sur des substrats flexibles est l’objectif majeur des 3 équipes projets du département.

Présentation générale

- Elaboration de circuits en technologie organique et silicium basse température,
- Développement de capteurs sur substrat basse température ou sur substrat souple.
- Développement de systèmes de récupération d’énergie et intégration de ces dispositifs dans des systèmes.

 

Les objectifs généraux sont de concevoir des systèmes de détection performants qui peuvent avoir les propriétés suivantes : conformabilité (grâce aux substrats souples), transparence (induisant de nouvelles applications en analyse biologique), haute sensibilité (par l’utilisation de nanotechnologies), bas coût (technologies basses températures), biocompatibilité, biodégradabilité.

Applications très variées, en particulier à l’interface avec le domaine de la santé,

- Système de mesures de paramètres physiologiques de type BAN (Body Area Network),
- Conformabilité des capteurs qui permet des applications sur des objets de formes diverses ou sur la peau ;
- Réalisation de systèmes de mesures moins encombrants et plus confortables (suivi pathologique des personnes dépendantes, suivi à long terme, etc.).

Faits marquants

Les principaux faits marquant pour la période 2015-2020 sont les suivants :

  • Réalisation de transistors et circuits en électronique organique imprimée. Ce travail a permis la mise au point d’un procédé de fabrication unique au niveau national et innovant au niveau international.
  • Synthèse de nanofils de silicium à basse température (250°C) sous plasma d’hydrogène. Procédé innovant de synthèse à basse température permettant de diversifier les applications de détection sur substrats divers dont souples.
  • Développement d’un nouveau concept pour l’élaboration d’électronique conforme sur objets complexes 3D. Résultats pionniers à l’état de l’art international à fortes retombées socio-économiques puisqu’inclus dans deux programmes de maturation accompagnés par la SATT OV.

Collaborations- Relations Internationales:

Map monde illustrant les collaborations internationales

Internationales

- GDR International « NAMIS » ,
- Université Hoseo – Corée,
- Université de Nanjing – Displays Center – Chine,
- Université Sao Paulo – Brésil ,
- Universités USTHB Alger, USTO Oran – Algérie,
- Université de Ryukyus – Okinawa – Japon,
- Universté d'Austin – Texas – États Unis D’Amérique.
- Université Yamagata – ROEL – Japon,
- Université de Stuttgart – Allemagne,
- Los Alamos National Laboratory – Etats Unis.

Carte de la france et ses principale métropoles illustrant les collaborations nationales

Nationales

- GDR Nanofils Semiconducteurs,
- GDR Organique,
- GDR OXYFUN,
- GDR HPERO,
- LPICM – École Polytechnique Palaiseau ,
- CIMAP (UMR 6252) – Université de Caen,
- GREYC (UMR 6072) – Université de Caen.

Vue aérienne de la ville de rennes

Locales

- Sciences Chimiques UMR6226 – Université de Rennes1 , Equipe MACSE
- Laboratoire SATIE , BIOMIS - ENS Rennes,
- IMN Nantes,
- Laboratoire FOTON (UMR 6082) ,
- LTSI, Université de Rennes1.
- IPR (Département Nanomatériaux Nanoscience),
- UMR INSERM-INRA Université de Rennes 1, équipe CIMIAD de Nutrition Métabolisme et Cancer (NuMeCan)
- Société ARCLYNN Missillac Loire Atlantique)

Alumini

DONERO L.: "Microcapteur nano-fonctionnalisés pour la detection biologique". (Mars 2017).
KUAI W.
: "Conception and fabrication of organic electronic devices by inkjet printing on all kind of substrates" (Janvier 2017).
LIU X.: "Fabrication et modelisation de composants optoelectronique à base de Q-dot adressés par des transistors en couches minces." (Janvier 2017).
LE BORGNE B.: "Développement de nanocapteurs bactériologiques par integration de transistors à nanofils de silicium" (Novembre 2016)
KERVRAN Y.: "Cartographie du champ de pression induit par l’occlusion dentaire". (janvier 2016).
BEBICHE S.: "Technologie Microélectronique sur substrat flexible : du silicium à l’organique" (novembre 2015).
DONG H.: "Microcrystalline silicon bases thin film transistors ffabricated on flexible substrate". (septembre 2015).
ISRAEL M.: "Croissance, caractérisation et mise en œuvre de nanofils Si, Ge et Si/Ge et Si/Ge". juillet 2015.
SAMB M.L.: "Modélisation de transistors en couches minces (TFT) élémentaires". (décembre 2014)
PREVOT M.: "Démonstrateurs des potentialités applicatives des clustomesogenes"; (septembre 2014).
BOUHADDA I.: "Elaboration et réalisation de transistors à effet de champ à canal microfluidique intègre dédie à la détection en milieu liquide". (juillet 2014).
GODEM WENGA G: "Mise en œuvre d’un capteur chimique et biologique à base de nanofils de silicium". (décembre 2013).
ZHANG P: "Development and fabrication of vertical thin film transistors based on low temperature polycrystalline silicon technology". (décembre 2012).
NI L.: "Silicon nanowires synthesized by vls growth mode for gas sensing applications" (février 2012).
KHERRAT A.: "Réalisation de Micro-chambres d’analyse chimique : Microcapteurs de pH et microfluidique associes" (mai 2012).
JANFAOUI S.: "Electronique CMOS en silicium microcristallin sur substrat flexible transparent" (décembre 2012).
DA SILVA RODRIGUES B.: "Fabrication de smartsensor a basse température utilisant des transistors à effet de champ à grille suspendue : réalisation de pH-mètre de grande sensibilité pour le contrôle en continu de la qualité de l’eau potable." (septembre 2011).
DEMAMI F.: "Synthèse de nanofils de silicium par la méthode des espaceurs" (mars 2011).
SOULEIMAN I.: "Développement de blocs élémentaires et de circuits dédies a des applications RFID en technologie silicium microcristallin très basse température". (juillet 2011).
BELARBI K.: "Transistors en couches minces de silicium microcristallin fabriques a T<180°C : Stabilité et mobilité". (septembre 2010).

 

                                                                                                                                            Dernière mise à jour de la page le 05/12/20 par Maxime HARNOIS