Capteurs

Cette équipe-projet a pour objectif d’une part d’optimiser les propriétés particulières permettant la détection, d’autre part de mettre au point de nouveaux capteurs. L’équipe utilise les compétences développées en technologie pour mettre au point de nouvelles techniques de détection de haute sensibilité, compatibles avec une intégration de l’électronique de traitement.

Les objectifs en termes de développements de capteurs sont principalement les suivants :

- Capteurs mécaniques (pression, déformation) souples :
- Optimisation des performances de capteurs mécaniques à base de silicium sur plastique et diversification des applications.
- Intégration d’autres matériaux, ayant des sensibilités plus grandes ou plus conformables.

-Capteurs à base de nanomatériaux :
- Synthèse de nano-objets : nanofils Si, Ge, SiGe, par voies top down (espaceurs) ou bottom up (VLS), nanorubans, structures suspendues
- Intégration dans des dispositifs de détection : résistances, transistors
- Applications : capteurs de gaz, pHmétrie, hybridation ADN…
- Technologies sur différents substrats rigides ou flexibles.

-Capteurs à base de films minces :
- Développement de technologies à base de silicium : transistors à grille suspendue, canal microfluidique déporté ou intégré
- Applications en pHmétrie, capteurs biologiques (protéines)…

Principal financement:
ANR PlasBioSens (2014-2017)